DISPOSITIF GENERATEUR D'IONS A RESONANCE CYCLOTRONIQUE ELECTRONIQUE

L'invention concerne un dispositif générateur d'ions à résonance cyclotronique électronique comportant : - un tube métallique (1) soumis à un premier potentiel (V1) et percé par : ○ une première cavité formant une chambre plasma (3) destinée à contenir un plasma; ○ une deuxième cavité formant un guide d'onde (4) agencé pour injecter une onde haute fréquence dans la chambre plasma (3), - des moyens d'extraction (12) comportant une extrémité amont (15) connectée à la chambre plasma (3) et une extrémité avale (16) destinée à être connectée à une ligne de transport des ions (22), la bride de connexion (21) étant soumise à un deuxième potentiel (V2), - des moyens de génération (8) d'un champ magnétique, - un tube céramique (17) en contact avec le tube métallique (1), le tube céramique (17) entourant le tube métallique (1) et au moins une partie des moyens d'extraction (12). An electron cyclotron resonance ion generator device includes a metal tube subjected to a first potential and pierced by a first cavity forming a plasma chamber intended to contain a plasma; a second cavity forming a waveguide configured to inject a high frequency wave into the plasma chamber, an extraction system including an upstream end connected to the plasma chamber and a downstream end configured to be connected to an ion transport line, the connecting flange being subjected to a second potential, a magnetic field generator, and a ceramic tube in contact with the metal tube, the ceramic tube surrounding the metal tube and at least a part of the extraction system.