COMPOSITION DE POLISSAGE CHIMIQUE MECANIQUE ET PROCEDE POUR POLIR DU TUNGSTENE

Il est mis à disposition une composition de polissage mécanochimique et un procédé pour polir du tungstène, comprenant : un abrasif à base d'oxyde métallique ; un oxydant ; une substance de formule I amplifiant la vitesse d'élimination du tungstène ; et de l'eau ; dans lesquels la com...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GUO, YI, LAVOIE, JR., RAYMOND L
Format: Patent
Sprache:fre
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Il est mis à disposition une composition de polissage mécanochimique et un procédé pour polir du tungstène, comprenant : un abrasif à base d'oxyde métallique ; un oxydant ; une substance de formule I amplifiant la vitesse d'élimination du tungstène ; et de l'eau ; dans lesquels la composition de polissage présente une meilleure vitesse d'élimination du tungstène et une amplification de la vitesse d'élimination du tungstène. A composition and method for tungsten is provided comprising: a metal oxide abrasive; an oxidizer; a tungsten removal rate enhancing substance according to formula I; and, water; wherein the polishing composition exhibits an enhanced tungsten removal rate and a tungsten removal rate enhancement.