COMPOSITION DE POLISSAGE CHIMIQUE MECANIQUE ET PROCEDE POUR POLIR DU TUNGSTENE
Il est mis à disposition une composition de polissage mécanochimique et un procédé pour polir du tungstène, comprenant : un abrasif à base d'oxyde métallique ; un oxydant ; une substance de formule I amplifiant la vitesse d'élimination du tungstène ; et de l'eau ; dans lesquels la com...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Il est mis à disposition une composition de polissage mécanochimique et un procédé pour polir du tungstène, comprenant : un abrasif à base d'oxyde métallique ; un oxydant ; une substance de formule I amplifiant la vitesse d'élimination du tungstène ; et de l'eau ; dans lesquels la composition de polissage présente une meilleure vitesse d'élimination du tungstène et une amplification de la vitesse d'élimination du tungstène.
A composition and method for tungsten is provided comprising: a metal oxide abrasive; an oxidizer; a tungsten removal rate enhancing substance according to formula I; and, water; wherein the polishing composition exhibits an enhanced tungsten removal rate and a tungsten removal rate enhancement. |
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