PROCEDE DE TRANSFERT D'UNE COUCHE MINCE AVEC APPORT D'ENERGIE THERMIQUE A UNE ZONE FRAGILISEE VIA UNE COUCHE INDUCTIVE

L'invention porte sur un procédé de transfert d'une couche mince (3) d'un premier substrat (B) vers un deuxième substrat (A) présentant des coefficients de dilation thermique différents, comprenant les étapes de : - fourniture d'au moins une couche intermédiaire (1) présentant un...

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Hauptverfasser: SIGNAMARCHEIX THOMAS, BENAISSA LAMINE, AUGENDRE EMMANUEL
Format: Patent
Sprache:fre
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