Method for manufacturing vibratory actuator for e.g. resistive type touch panel of mobile terminal, involves forming first vibratory actuator element, coupling interface and electrodes, and forming first multilayer structure on substrate
The method involves forming a first vibratory actuator element on a substrate (SB) to vibrate in response to an electrical signal, and forming a first mechanical coupling interface coupled to the element and a control unit (CNTC), where the coupling interface vibrates the control unit as the element...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | The method involves forming a first vibratory actuator element on a substrate (SB) to vibrate in response to an electrical signal, and forming a first mechanical coupling interface coupled to the element and a control unit (CNTC), where the coupling interface vibrates the control unit as the element vibrates. First electrodes are formed to transmit the electrical signal to the element. A first multilayer structure is formed on the substrate. A second multilayer structure is formed on the substrate by forming a second vibratory actuator element and second electrodes. Independent claims are also included for the following: (1) a vibratory device (2) a system comprising a touch panel.
L'invention concerne un procédé de fabrication d'éléments vibrants (PA), comprenant des étapes de formation sur une plaquette (SB) d'une structure multicouches par un procédé de fabrication de circuit intégré, la structure multicouches comprenant un élément (VA) susceptible de vibrer lorsqu'il est soumis à un signal électrique, et des électrodes (LE, UE) pour transmettre un signal électrique à l'élément vibrant, l'élément vibrant comportant une face de couplage mécanique par laquelle il est apte à transmettre à un organe de commande (GL) des vibrations perceptibles par un utilisateur. |
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