COMPOSANT ELECTRIQUE COMPRENANT UN MATERIAU DE STRUCTURE PEROVSKITE ET DES ELECTRODES OPTIMISEES ET PROCEDE DE FABRICATION

L'invention a pour objet un composant électrique comprenant une couche de matériau de cristal pérovskite à base de plomb compris entre une électrode inférieure à la surface d'un substrat et une électrode supérieure, caractérisé en ce que l'électrode inférieure comporte une première co...

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Hauptverfasser: CUEFF MATTHIEU, LE RHUN GWENAEL, DEFAY EMMANUEL
Format: Patent
Sprache:fre
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Beschreibung
Zusammenfassung:L'invention a pour objet un composant électrique comprenant une couche de matériau de cristal pérovskite à base de plomb compris entre une électrode inférieure à la surface d'un substrat et une électrode supérieure, caractérisé en ce que l'électrode inférieure comporte une première couche de stabilisation en un premier matériau et une seconde couche de germination en un second matériau, le premier et le second matériaux étant de même nature mais présentant des paramètres de structuration et/ou une densité, différents. L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d'un composant selon l'invention dans lequel le matériau de structure pérovskite peut être du PZT d'orientation (100) ou d'orientation (111). Electrical component comprises a lead-based perovskite crystal material layer between a lower electrode on the surface of a substrate and an upper electrode, where the lower electrode comprises a stabilizing first layer made of a first material and a seeding second layer made of a second material, and the first and second materials have the same chemical composition but different structural parameters and/or densities. Independent claims are also included for: (1) an actuator comprising the electrical component, where the substrate comprises at least one apertured part in order to define a released zone that can deform comprising the layer of perovskite material; and (2) fabricating the component, comprising producing, at a given crystallization temperature, a layer of perovskite material between a lower electrode and an upper electrode, by (a) producing a stabilizing first layer by depositing platinum at a first maximum temperature and (b) producing a seeding second layer by depositing platinum at a second maximum temperature that is below the first temperature and the crystallization temperature of the perovskite material.