MICROMOTEUR, NOTAMMENT UTILISE POUR LE REGLAGE DE POSITIONS, MOTEUR MINIATURE FORME AVEC DE TELS MICROMOTEURS ET PROCEDE DE FABRICATION

Micromoteur (1) utilisable notamment comme moteur de positionnement d'un satellite. Il comporte une chambre de combustion (2) dans un substrat (3) en matière électro-conductrice. La chambre de combustion (2) comporte une entrée de carburant et une sortie de gaz vers une tuyère. Un chauffage par résistance équipe la chambre (2). Le premier chauffage par résistance (8) comporte un catalyseur (7) pour décomposer le carburant dans la chambre de combustion (2). Le premier chauffage par résistance (8) comporte des segments de matière de substrat (9) formés en option dans la matière de substrat ainsi qu'un catalyseur (7) pour être chauffé à une température prédéterminée ou à une température dans une plage de température prédéterminée. The engine (1) has a combustion chamber (2) made of a substrate (3), which is formed of silicon or silicon-carbide and sapphire. A resistance heater is attached to a catalyzer (7) for decomposing of fuel provided in the combustion chamber. The heater is used for heating substrate material sections to a preset temperature or a temperature range, where the material sections are optionally made of substrate material and form the catalyzer. The combustion chamber volume is limited by a covering layer of the chamber, where the layer is made of silicon-on insulator (SOI)-wafer. An independent claim is also included for a method for manufacturing the micro engine.