COMPOSITION DE VERRE CONSTITUE EXCLUSIVEMENT D'OXYDES QUI, DEJA AUX BASSES TEMPERATURES, FORMENT DES FLUORURES VOLATILS PAR REACTION AVEC LE FLUOR, ET SON UTILISATION

La présente invention concerne une nouvelle composition de verre qui comprend exclusivement des oxydes qui, à de basses températures, forment des fluorures volatils, et son utilisation dans des procédés de formation de microstructures.Les verres sont constitués de (en % en moles) :SiO2 40 - 70GeO2 0 - 30B2O3 5 - 20P2O5 5 - 20WO3 0 - 10As2O3 0 - 10Yb2O3 0 - 5Lu2O3 0 - 5 A glass composition (A) comprises (mol.%): 40-70% silicon dioxide (SiO 2), 0-30% germanium dioxide (GeO 2), 5-20% boron oxide (B 2O 3), 5-20% phosphorus (V) oxide (P 2O 5), 0-10% tungsten (VI) oxide (WO 3), 0-10% arsenic (III) oxide (As 2O 3), 0-5% ytterbium (III) oxide (Yb 2O 3) and 0-5% lutetium (III) oxide (Lu 2O 3). An independent claim is included for the production of (A), by: (1) forming a homogeneous glass melt in a conventional trough of refractory stone or in a platinum or platinum-rhodium crucible; (2) forming a casting or a rolled, drawn or floated glass sheet; and (3) cold post-treating the glass preform to give wafers.