Distributed thermojunction type thermopile for conductive and radiant heat fluxmeters has thermal discontinuity zones formed directly below the thermojunctions in a higher thermal conductivity substrate

A distributed thermojunction type thermopile for conductive or radiant heat exchange measurement has thermal discontinuity zones (7) formed directly below the thermojunctions (4) in a higher thermal conductivity substrate (3) especially of silicon. A distributed thermojunction type thermopile, for conductive heat exchange measurement has a thermal discontinuity zone (7) formed directly below each second thermojunction (4) in a higher thermal conductivity substrate (3). Independent claims are also included for the following: (i) a distributed thermojunction type thermopile for radiant heat exchange measurement having a thermal discontinuity zone (7) formed directly below each thermojunction (4) in a higher thermal conductivity substrate (3); (ii) conductive and radiant heat fluxmeters comprising the above thermopile; and (iii) processes for producing the above heat fluxmeters. Preferred Features: Each thermal discontinuity zone (7) is delimited by a cavity (8) in a substrate having a thermal conductivity of \-1 W/m.K, especially a silicon substrate (3). La thermopile comporte une pluralité de thermojonctions (4) du type distribuées réalisées sur un substrat, qui est de préférence un substrat conducteur ou semi-conducteur type silicium. Une pluralité de zones de discontinuité thermique (7) sont réalisées dans le substrat (3); ces zones de discontinuité thermique présentent une conductivité thermique strictement inférieure à la conductivité thermique du substrat. Lorsque la thermopile est prévue pour la mesure d'échanges thermiques conductifs, les zones de discontinuité thermique (7) sont localisées respectivement au droit d'une thermojonction (4) sur deux. Lorsque la thermopile est prévue pour la mesure d'échanges thermiques radiatifs, les zones de discontinuité thermique (7) sont localisées respectivement au droit de chaque thermojonction.