PROCEDE ET APPAREIL D'IMAGERIE A UNE SERIE DE LONGUEURS D'ONDES
Un système d'imagerie (10) destiné à former une image sur une surface (21) de substrat à plusieurs longueurs d'ondes d'imagerie comprend un module générateur remplaçable (36) de faisceau, un miroir tournant (34) et un dispositif de commande (26). Le module générateur de faisceau engen...
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Zusammenfassung: | Un système d'imagerie (10) destiné à former une image sur une surface (21) de substrat à plusieurs longueurs d'ondes d'imagerie comprend un module générateur remplaçable (36) de faisceau, un miroir tournant (34) et un dispositif de commande (26). Le module générateur de faisceau engendre un faisceau d'imagerie en fonction de signaux d'ordres de faisceau. La longueur d'onde du faisceau d'imagerie est l'une de la série de longueurs d'ondes d'imagerie. Le module générateur de faisceau présente en outre le faisceau d'imagerie le long d'un trajet prescrit et le module générateur de faisceau engendre des signaux de longueurs d'ondes indicatifs de la longueur d'onde du faisceau d'imagerie. Le dispositif de commande reçoit les signaux de longueurs d'ondes et engendre les signaux d'ordres de faisceau en fonction des signaux de longueur d'onde. Les signaux de commande de faisceau commandent une génération du faisceau d'imagerie en fonction d'une configuration prescrite pour former une image sur la surface de substrat. |
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