PROCEDE DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE DE MICROPONT(S) POUR DISPOSITIF MICRO-USINE, ET PRODUITS AINSI OBTENUS

A method of fabricating a microbridge structure for a thermal detector array comprises growing a planarising layer on a substrate, growing a ferroelectric material layer on the planarising layer and then etching the planarising layer away, either wholly or partially, to leave a ferroelectric microbr...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	NICKLIN RALPH, SCHORROCKS NICOLAS MARTYN, WALKER MARTIN JAMES, PARSONS ANDREW DUNCAN
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	ELECTRICITY
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