REALISATION D'UN ECHANTILLON DE REFERENCE POUR APPAREIL DE CARACTERISATION DE DOSES IMPLANTEES

L'invention concerne la réalisation d'un échantillon de référence pour un étalonnage d'un appareil de caractérisation de doses implantées sur une plaquette (1), consistant à définir une succession d'au moins deux bandes parallèles (Bi) sur la plaquette (1), à déposer un premier m...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BRUN ALAIN, LOMBARD SERGE
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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