Electron beam analyser (scanner)

The subject of the present invention is an electron beam analyser. m alyser for beams of electrons output, in particular, by corresponding accelerators in the form of scanning beams, characterised in that it mainly consists, on the one hand, by a network of conductors (2) which can be positioned in the scanning field (3) of the beam to analysed and, on the other hand, by an electronic device (4) for processing the electrical signals generated in the said conductors (2) of the said network under the action of the incident electron beam and, finally, by a device (5) for visual display of various characteristics of the electron beam, determined by means of the said electronic processing device (4). La présente invention a pour objet un analyseur de faisceaux d'électrons. Analyseur de faisceaux d'électrons issus notamment d'accélérateurs correspondants sous forme de faisceaux à balayage, caractérisé en ce qu'il est principalement constitué, d'une part, par un réseau de conducteurs (2) pouvant être positionné dans le champ de balayage (3) du faisceau à analyser, d'autre part, par un dispositif électronique (4) de traitement des signaux électriques générés dans lesdits conducteurs (2) dudit réseau sous l'action du faisceau d'électrons incident et, enfin, par un dispositif de visualisation (5) de différentes caractéristiques dudit faisceau d'électrons, déterminées au moyen dudit dispositif électronique (4) de traitement.