RESONATEURS EN MATERIAU SOLIDE ELASTIQUE ET OSCILLATEURS A HAUTE STABILITE

Une réalisation préférée d'un résonateur selon l'invention comprend essentiellement une plaque résonnante 1, une électrode d'action 2 et une électrode de détection 3, et un support 6. Les électrodes sont disposées face à des champs symétriques de la plaque, en regard de ventres de vibration, et sont couplées à la plaque par effet capacitif, électrostrictif ou piézoélectrique selon le matériau constituant la plaque. Une très large gamme de matériaux solides élastiques est utilisable pour la réalisation de la plaque résonnante. La plaque est fixée au support en des points 51 1 , 51 2 52 1 , 52 2 correspondant à des noeuds de vibration de la plaque. Avantageusement la plaque vibre selon un mode de contour appelé mode de Lamé. Des coefficients de qualité élevés de l'ordre de 10**7 sont obtenus. Les résonateurs selon l'invention sont aisément intégrables. A cette fin, la plaque est par exemple réalisée en silicium. A preferred embodiment of a resonator according to the invention comprises essentially a resonating plate (1), an action electrode (2) and a detection electrode (3), and a support (6). The electrodes are arranged facing symmetrical edges of the plate, opposite vibrational antinodes, and are coupled to the plate by a capacitive, electrostrictive or piezoelectric effect depending upon the material constituting the plate. A very wide range of solid elastic materials can be used to construct the resonating plate. The plate is fixed to the support at points (511, 512, 521, 522) corresponding to the vibrational nodes of the plate. Advantageously, the plate vibrates in an outline mode called the Lamé mode. High quality factors of the order of 10 are obtained. The resonators according to the invention can readily be integrated. For this purpose, the plate is, for example, made of silicon.