CAPTEUR INTEGRE DE GRANDEURS MECANIQUES A EFFET CAPACITIF ET PROCEDE DE FABRICATION

LE CAPTEUR INTEGRE COMPREND UN SUBSTRAT14 EN SILICIUM MONOCRISTALLIN MUNI D'UNE PREMIERE ELECTRODE17, UNE COUCHE D'OXYDE THERMIQUE13 FORMEE SUR LA SURFACE DU SUBSTRAT14 OPPOSEE A L'ELECTRODE17, UNE LAME FLEXIBLE1 EN OXYDE DE SILICIUM MUNIE D'UNE SECONDE ELECTRODE2 ET SEPAREE DE L...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	PIERRE LOUIS ANDRE, FRANCOIS GABRIEL BAILLIEU, JEAN-PIERRE YVES BROSSELARD, GERARD DREYFUS, ALFRED PERMUY, FRANCOIS-XAVIER PIROT ET SERGE SPIRKOVITCH
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS BASIC ELECTRIC ELEMENTS CAPACITORS CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE ELECTRICITY INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PHYSICS TARIFF METERING APPARATUS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	LE CAPTEUR INTEGRE COMPREND UN SUBSTRAT14 EN SILICIUM MONOCRISTALLIN MUNI D'UNE PREMIERE ELECTRODE17, UNE COUCHE D'OXYDE THERMIQUE13 FORMEE SUR LA SURFACE DU SUBSTRAT14 OPPOSEE A L'ELECTRODE17, UNE LAME FLEXIBLE1 EN OXYDE DE SILICIUM MUNIE D'UNE SECONDE ELECTRODE2 ET SEPAREE DE LA COUCHE D'OXYDE THERMIQUE13 PAR UN ESPACE LIBRE, DES ZONES DE SOURCE4 ET DE DRAIN5 SEPAREES PAR UN CANAL6 ET FORMEES PARALLELEMENT A LA LAME1 DANS LA PARTIE SUPERIEURE DU SUBSTRAT14 VOISINE DE LA COUCHE D'OXYDE THERMIQUE13 ET DES ELECTRODES34, 35 RELIEES, RESPECTIVEMENT, A LA ZONE DE SOURCE4 ET A LA ZONE DE DRAIN5, DE MANIERE A CREER UNE STRUCTURE MOS A COUCHE EPAISSE D'AIR D'EPAISSEUR VARIABLE, EN FONCTION DES DEPLACEMENTS DE LA LAME1. APPLICATION A LA REALISATION, NOTAMMENT, D'ACCELEROMETRES ET DE CAPTEURS DE FORCE ET DE PRESSION.