TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP A GRILLE ULTRACOURTE ET A STRUCTURE HORIZONTALE, ET SON PROCEDE DE FABRICATION

L'INVENTION CONCERNE UN TRANSISTOR A EFFET DE CHAMP POUR CIRCUITS INTEGRES HYPERFREQUENCES: LES METALLISATIONS D'ELECTRODES 17, 18, 19 SONT D'UN MEME COTE DE LA PASTILLE, ET LA GRILLE EST SUBMICRONIQUE. L'INVENTION CONCERNE EGALEMENT LE PROCEDE DE REALISATION DE LA GRILLE ULTRACOURTE.LE TRANSISTOR COMPORTE TROIS COUCHES, TAMPON 11, D'ACCES 12 ET D'ISOLEMENT 13 SUPPORTEES PAR UN SUBSTRAT 10. LA REGION DE COMMANDE, CONSTITUEE PAR AU MOINS UNE COUCHE ACTIVE 15 ET UNE METALLISATION DE GRILLE 17 EST FORMEE DANS UN SILLON 14 QUI PENETRE JUSQU'A LA COUCHE-TAMPON 11, MAIS SANS LA TRAVERSER. SEULE LA PARTIE DU SILLON 14 DANS LA COUCHE-TAMPON 11 EST ACTIVE EN TANT QUE GRILLE DE COMMANDE. LA REALISATION DU SILLON SE FAIT PAR VOIE CHIMIQUE, EN S'APPUYANT SUR LES PLANS CRISTALLOGRAPHIQUES DES COUCHES.APPLICATION AUX CIRCUITS INTEGRES HYPERFREQUENCES.