MICROSCOPE CAPACITIF A BALAYAGE ET PROCEDE DE DETERMINATION DE VARIATION DE TOPOGRAPHIE L'UTILISANT

L'INVENTION CONCERNE UN MICROSCOPE CAPACITIF A BALAYAGE POUR DETERMINER LES VARIATIONS DE LA TOPOGRAPHIE ET LES PROPRIETES DE LA COUCHE DE SURFACE D'UN CORPS D'UN MATERIAU.SELON L'INVENTION, UN MOYEN BALAIE LA COUCHE DE SURFACE 13 PAR UNE SONDE CAPACITIVE 11 POUR PRODUIRE UN PREMIER SIGNAL REPRESENTANT LES VARIATIONS CAPACITIVES ENTRE LA COUCHE DE SURFACE ET LA SONDE; ET UN MOYEN 20 PRODUIT UN AFFICHAGE VISUEL A PARTIR DU PREMIER SIGNAL POUR PERMETTRE AUX VARIATIONS CAPACITIVES D'ETRE PRESENTEES SOUS FORME DE VARIATIONS POUVANT ETRE DISCERNEES A L'OEIL, D'UNE IMAGE CONSISTANT EN POINTS QUI SONT EN CORRELATION, SUR UNE BASE DE UN A UN, AVEC DES POINTS SUR LA COUCHE DE SURFACE, LES VARIATIONS DE L'IMAGE REPRESENTANT DES CARACTERISTIQUES DE LA COUCHE DE SURFACE QUI PROVOQUENT DES VARIATIONS DE CAPACITE ENTRE ELLE ET LA SONDE CAPACITIVE.L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT A LA PRODUCTION DES VIDEODISQUES. Variations in topography and material properties of the surface layer of a body are observed in microscopic imaging using a scanning capacitance probe. The acronym SCaM identifying the process and apparatus is derived from the phrase scanning capacitance microscope. The material properties observable by SCaM are the surface-electric property representative of the complex dielectric constant of the surface material and the surface-mechanical property representative of the elastic constant of the surface material.