PROCEDE DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF INTEGRE A GRANDE ECHELLE AYANT UNE SURFACE PLANE

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	EKKEHARD F. MIERSCH ET HWA N. YU
Format:	Patent
Sprache:	fre
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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