REAGENT CARTRIDGE AND REACTOR APPARATUS

A reagent cartridge (1000) for sublimation of a solid reagent (1001) and a reactor apparatus are disclosed. The reagent cartridge (1000) comprises a reagent chamber (1200) for holding the solid reagent (1001) and at least one pressure sensor (1100) for measuring pressure inside the reagent cartridge...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Reynaud, Olivier, Glazek, Wojciech, Juntunen, Taneli
Format: Patent
Sprache:eng ; fin ; swe
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:A reagent cartridge (1000) for sublimation of a solid reagent (1001) and a reactor apparatus are disclosed. The reagent cartridge (1000) comprises a reagent chamber (1200) for holding the solid reagent (1001) and at least one pressure sensor (1100) for measuring pressure inside the reagent cartridge (1000). Esitetään reagenssikasetti (1000) kiinteän reagenssin (1001) sublimointia varten ja reaktorilaitteisto. Reagenssikasetti (1000) käsittää reagenssikammion (1200) kiinteän reagenssin (1001) pitämiseksi sen sisällä ja vähintään yhden paineanturin (1100) paineen mittaamiseksi reagenssikasetin (1000) sisäpuolelta.