Sensor de partículas finas con microbalanzas en cascada

La presente invención da a conocer un sensor (1) para el análisis continuo in situ de una corriente de aerosol que permite medir la masa de las partículas micrónicas/submicrónicas (2) en suspensión en la corriente de aire, que comprende un dispositivo de clasificación aeráulico que permite medir el tamaño de las partículas. distribución de las partículas (2) a determinar en función de su tamaño con un cuerpo impactador en cascada (3) de una o más etapas; al menos una microescala MEMS (7) por etapa, con una membrana oscilante de silicio (7a), situada en la zona de impacto de las partículas (2); medios de cálculo conectados a cada microescala MEMS (7) para determinar la masa de todas las partículas (2) en la zona de impacto; un sistema de limpieza de las microescalas MEMS que permite eliminar las partículas (2) de las microescalas MEMS; medios para arrastrar la corriente de aerosol. (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal) A sensor for the continuous in-situ analysis of an aerosol flow for measuring the mass of the micron/submicron particles suspended in the air flow, including an aeraulic sorter allowing the particles to be sorted according to their size with an impactor body with a cascade of one or more stages; at least one MEMS microbalance per stage, with an oscillating silicon membrane located on the impaction zone of the particles; processor connected to each MEMS microbalance to determine the mass of all the particles on the impaction zone; a system for cleaning the MEMS microbalances allowing the evacuation of the particles from the MEMS microbalances; means for driving the aerosol flow.