Procedimiento para alisar una zona de superficie de un componente

La invención se refiere a un método para alisar una región de la superficie de un componente (11; 21), que al menos dentro de la región de la superficie consta de un material eléctricamente conductor, donde la región de la superficie del componente (11; 21) está recubierta dentro de un cámara de vac...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: GRAFFEL, Benjamin, FRITZSCHE, Sven, KLÖDEN, Burghardt, WEISSGÄRBER, Thomas, WINCKLER, Falk, KIEBACK, Bernd
Format: Patent
Sprache:spa
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