Procedimiento para alisar una zona de superficie de un componente
La invención se refiere a un método para alisar una región de la superficie de un componente (11; 21), que al menos dentro de la región de la superficie consta de un material eléctricamente conductor, donde la región de la superficie del componente (11; 21) está recubierta dentro de un cámara de vac...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | La invención se refiere a un método para alisar una región de la superficie de un componente (11; 21), que al menos dentro de la región de la superficie consta de un material eléctricamente conductor, donde la región de la superficie del componente (11; 21) está recubierta dentro de un cámara de vacío, por medio de al menos un haz de electrones enfocado (13; 23) con una primera energía superficial, que provoca la fusión del material componente dentro de la región superficial, donde a), antes de la fusión, la región superficial se pasa por encima de al menos dos veces por el haz de electrones (13; 23), cada vez con una distancia focal diferente (27a; 27b; 27c) del haz de electrones (13; 23), donde b) se establece una segunda energía superficial para el haz de electrones (13, 23), de modo que no se produzca una fusión del material componente en la zona de la superficie,donde c) los datos que caracterizan la corriente eléctrica causada por los electrodos retrodispersados que inciden en los sensores (14; 24) se registran por medio de una serie de sensores (14; 24) dispuestos dentro de la cámara de vacío, donde d) dentro de un dispositivo de evaluación (15; 25), se deriva un valor real para la rugosidad dentro de la región de la superficie a partir de los datos registrados por los sensores (14; 24), el valor real de la rugosidad se compara con un valor de referencia de la rugosidad y, si el el valor real de la rugosidad no ha alcanzado el valor nominal de la rugosidad, se determina un valor para la primera energía superficial en función del resultado de la comparación, después de lo cual e) el haz de electrones (13) atraviesa la región de la superficie; 23) con la primera energía superficial, después de lo cual se continúa con el método paso a).24) dispuesto dentro de la cámara de vacío, en el que d) dentro de un dispositivo de evaluación (15; 25), a partir de los datos registrados por los sensores (14; 24), se deriva un valor real para la rugosidad dentro de la región de la superficie, el valor real de la rugosidad se compara con un valor nominal de la rugosidad y, si el valor real de la rugosidad no ha alcanzado el valor nominal de la rugosidad, se determina un valor para la primera energía superficial en función del resultado de la comparación, después de lo cual e) el haz de electrones (13; 23) con la primera energía superficial atraviesa la región de la superficie, después de lo cual se continúa con el paso a).24) dispuesto dentro de la cámara de vacío, en |
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