Sistema y método de detección de defectos

Un sistema de inspección de defectos para una inspección visual manual de defectos (10) superficiales en una muestra, que comprende: un sistema (44) de iluminación para iluminar la superficie de muestra, que comprende una matriz de fuentes de luz formada dentro de un plano, en donde la matriz de fuentes de luz define un rango de direcciones de iluminación, dentro del plano, hacia la muestra, cuyo rango cubre al menos 90 grados; y un controlador (46) para controlar las fuentes de luz en la matriz; caracterizado por que el controlador (46) está configurado para controlar las fuentes de luz en la matriz para variar la intensidad de la salida de las fuentes de luz de una manera dinámica suave, en donde en respectivos puntos en el tiempo dentro de una secuencia cada una de las fuentes de luz tiene una intensidad mayor que las otras de tal manera que cada punto de la muestra es iluminado, en los respectivos puntos en el tiempo dentro de la secuencia, con una distribución de luz que tiene una intensidad de fuente de luz máxima en una dirección incidente única y a lo largo del tiempo la dirección en la cual se proporciona la intensidad de fuente de luz máxima, cambia para cubrir dicho rango. A defect inspection system is provided for inspection of defects in the surface of a sample. An array of light sources is used, with different light sources providing light to the sample from different directions. A main direction of illumination is defined with highest intensity, and this direction evolves over time. By providing varying directional illumination instead of blanket illumination, it becomes easier to detect defects.