Aparato y método para la ignición por plasma con un dispositivo autorresonante

Un método para encender un plasma de proceso, el método que comprende: hacer fluir un gas de ignición a una cámara (20) de plasma; utilizando al menos un dispositivo (15n) para formar al menos un plasma de ignición dentro de la cámara de plasma, en donde el al menos un dispositivo genera el al menos...

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Hauptverfasser: WALTHER, Steven, SMITH, Shaun, WU, Chen
Format: Patent
Sprache:spa
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