Aparato y método para la ignición por plasma con un dispositivo autorresonante

Un método para encender un plasma de proceso, el método que comprende: hacer fluir un gas de ignición a una cámara (20) de plasma; utilizando al menos un dispositivo (15n) para formar al menos un plasma de ignición dentro de la cámara de plasma, en donde el al menos un dispositivo genera el al menos un plasma de ignición dentro de su correspondiente volumen de plasma de ignición todo dentro de la cámara (20) de plasma, y el al menos un plasma de ignición provoca al menos una ionización parcial del gas de ignición; y utilizar un transformador de potencia para acoplar inductivamente potencia a la cámara de plasma, incluso en el volumen de plasma de ignición en la cámara de plasma, para encender el plasma de proceso, caracterizado porque el al menos un dispositivo (15n) es un dispositivo autorresonante. Methods and apparatus for igniting a process plasma within a plasma chamber are provided. One or more self-resonating devices are positioned within a plasma chamber relative to a plasma generation volume within the plasma chamber. The plasma generation volume is defined by the plasma chamber. Each of the self-resonating devices generates an ignition plasma. The ignition plasmas cause a partial ionization of an ignition gas. The partially ionized ignition gas allows for ignition of a process plasma by applying an electric field to the plasma generation volume.