Procedimiento y dispositivo para ahorrar energía y al mismo tiempo aumentar la velocidad de paso en las instalaciones de recubrimiento al vacío

Dispositivo de recubrimiento mediante pulverización, que se compone de en una serie de segmentos de pulverización (3) y de segmentos de separación de gases (2) con un plano de sustrato continuo (1), en el que los segmentos de pulverización (3) están formados por una cubeta de caldera (12) con un dispositivo de transporte interno (11) para el transporte de sustratos (1) y por al menos una tapa de la caldera (4) conectada a la cubeta de caldera (4) por medio de una brida de la caldera (6), disponiéndose la brida de la caldera (6) en la proximidad inmediata por encima del plano de sustrato (1) y encontrándose un bloque de apoyo de cátodos (5) con objetivo (8) y los canales de entrada de gas (10) en las proximidades inmediatas del sustrato con chapas de protección contra salpicaduras (9) en la tapa de caldera (4), caracterizado por que a) para ahorrar energía y aumentar simultáneamente la velocidad de paso, los segmentos de separación de gas (2) presentan en la zona del plano de sustrato (1), una tapa de túnel (14) que se desarrolla a lo largo de toda la longitud del segmento de separación de gas (2), que por medio de uno o varios elementos de elevación y descenso (17) se puede adaptar al grosor del respectivo sustrato (1) de manera que entre el sustrato (1) y la tapa de túnel (14) sólo quede en la altura una hendidura de espacio libre (18) reducida que es absolutamente necesaria para el paso sin perturbaciones del sustrato respectivo (1) y b) la evacuación de los segmentos de pulverización (3) y/o de los segmentos de separación de gas (2) se produce mediante una o varias bombas de vacío (15), recogiéndose el aire transportado en un depósito de aire (25) de volumen variable y aportándose el mismo durante la posterior reventilación del segmento (3, 2) en cuestión de nuevo a este segmento (3, 2). Disclosed are an apparatus and a method for saving energy while increasing the conveying speed in vacuum coating plants consisting of a series of sputtering segments (3) and gas separation segments (2) along with a continuous substrate plane (1). Said apparatus has the following features: a) each of the sputtering segments (3) consists of a tank tub (12) inside which a conveying device (11) is located; the flange (6) of the tank is positioned in the immediate vicinity above the substrate plane (1); a cathode bearing block (5), along with targets (8) and gas inlet ducts (10), is located in the tank cover (4) in the immediate vicinity of the substrate together with splash