Sistema de manipulación automatizada de elementos maestros y sustrato

Un sistema integrado de replicación electroquímica de patrones, ECPR (por sus siglas en inglés) (500) para realizar la impresión electroquímica de nano o microestructuras utilizando un elemento maestro, sobre una superficie conductora de un sustrato, que comprende: - una carcasa (534); - una unidad...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: FREDENBERG, Mikael, MÖLLER, Patrik
Format: Patent
Sprache:spa
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