Sistema de manipulación automatizada de elementos maestros y sustrato

Un sistema integrado de replicación electroquímica de patrones, ECPR (por sus siglas en inglés) (500) para realizar la impresión electroquímica de nano o microestructuras utilizando un elemento maestro, sobre una superficie conductora de un sustrato, que comprende: - una carcasa (534); - una unidad de llenado (202, 304, 404, 508, 610) y una unidad de limpieza (406, 512, 612, 704), en el que el elemento maestro es un electrodo con una capa de aislamiento con patrones que forma cavidades, en el que la unidad de llenado está configurada para depositar un material en las cavidades del elemento maestro y la unidad de limpieza está configurada para limpiar al menos una superficie seleccionada entre la superficie del sustrato y/o una superficie del elemento maestro; - una unidad de impresión ECPR (206, 308, 408, 510, 524, 614, 710) configurada para transferir electroquímicamente materiales, por deposición en las cavidades del elemento maestro en una unidad de llenado, como nano o microestructuras a partir del elemento maestro hasta la superficie conductora del sustrato en celdas llenas de electrolitos que se forman por las cavidades del elemento maestro y la superficie conductora del sustrato cuando se coloca el elemento maestro en estrecho contacto con el sustrato, o por disolución de material a partir del sustrato mientras se deposita dicho material en el elemento maestro mediante el uso de celdas llenas de electrolitos que se forman por las cavidades del elemento maestro y la superficie conductora del sustrato cuando se coloca el elemento maestro en estrecho contacto con el sustrato; - una plataforma de herramientas (526) que comprende una unidad de robot para el elemento maestro y el sustrato (516), que tiene al menos un efector terminal (518, 520) configurado para agarrar, doblar, transferir y liberar el elemento maestro o el sustrato, la plataforma de herramientas (526) comprende además una unidad de control de robot (536) y un programador que se configura para controlar la unidad de robot (516) para la manipulación del elemento maestro y del sustrato en un flujo de oblea única y para proporcionar instrucciones para la manipulación de los elementos maestros y del sustrato al sistema ECPR integrado, respectivamente, en el que la carcasa (534) está configurada para contener la unidad de llenado, la unidad de limpieza y la unidad de impresión ECPR y para proporcionar un interior confinado que tiene un sub-entorno del sistema ECPR integrado (500). An integrated