Un dispositivo de formación de imágenes de rayos X semiconductor unido mediante esferas

Un dispositivo de formación de imágenes de rayos X que comprende: un sustrato detector de conversión directa que tiene píxeles detectores para recoger señales electrónicas generadas en respuesta a una radiación incidente; un sustrato de lectura que tiene píxeles de lectura para recibir dichas señales electrónicas; y uniones mediante esferas que conectan dichos píxeles detectores y dichos píxeles de lectura, en el que una distancia (300) de centro a centro entre las uniones mediante esferas es menor de o igual a 25 μm, en el que las uniones mediante esferas comprenden una pata (8) rígida y un sombrero (6) de esfera de soldadura posicionado sobre la pata de esfera, y en el que la altura después de la unión de la pata (8) de esfera es de 5 μm o más y una altura después de la unión del sombrero (6) de soldadura es menor de 6,5 μm. A high pixel density intraoral x-ray imaging sensor includes a direct conversion, fully depleted silicon detector bump bonded to a readout CMOS substrate by capillary bump bonds.