Puntos de conexión de mandril y puente para filamentos de tubo en un reactor de deposición química de vapor
Un sistema de reactor de deposición química de vapor, que comprende: al menos un primer filamento (1, 3) de tubo que tiene extremos primero y segundo, configurado el filamento (1, 3) de tubo para transportar una corriente eléctrica; una semilla (5) unida al primer extremo del filamento (1, 3) de tub...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Un sistema de reactor de deposición química de vapor, que comprende: al menos un primer filamento (1, 3) de tubo que tiene extremos primero y segundo, configurado el filamento (1, 3) de tubo para transportar una corriente eléctrica; una semilla (5) unida al primer extremo del filamento (1, 3) de tubo; un mandril (9) conectado a al menos la semilla (5), en el que el mandril (9) está formado con un saliente (29, 39) que corresponde a una ranura de la semilla (5), de tal manera que el mandril (9) está conectado eléctricamente al filamento (1, 3) de tubo; al menos un segundo filamento (1, 3) de tubo, teniendo dicho segundo filamento de tubo extremos primero y segundo, estando cada filamento (1, 3) de tubo conectado a una semilla (5) y un mandril (9) respectivos; y un puente (2) que conecta los filamentos primero y segundo (1, 3) de tubo, en el que el puente comprende una pluralidad de rebajes (15), para aplicarse cada uno de los rebajes (15) a uno de los extremos primeros de los filamentos primero y segundo (1, 3) de tubo.
A chemical vapor deposition reactor system includes one or more tube filaments connected to a bridge, each tube filament being connected to a chuck. The chuck-to-filament connection can include a seed formed on an end of the tube filament, the seed being connected to a protrusion of the chuck, or the filament may be formed directly onto the chuck. For the bridge-to-filament connection, a flat cross bridge or a rectangular bridge is connected with corresponding openings in the filament. Use of these connections can maintain electrical connectivity and thus resistive heating of the tube filaments during operation of the reactor system. |
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