Procedimiento para la obtención de trisililamina a partir de monoclorosilano y amoniaco

Procedimiento para la obtención de trisililamina en la fase líquida - disponiéndose monoclorosilano (A, o bien A`) en un reactor (1) en forma líquida, y - introduciéndose amoniaco (B) en el reactor (1), - llevándose a cabo la reacción en el reactor (1), - conduciéndose a continuación la mezcla de productos obtenidas de este modo desde el reactor (1) a y a través de una unidad de filtración (2), y separándose cloruro amónico sólido (C) de la mezcla de productos, y - conduciéndose el filtrado de la unidad de filtración (2) a la columna de destilación (3), - destilándose en la columna de destilación (3) el monoclorosilano excedente (A`) a través de la cabeza, condensándose y alimentándose al reactor (1) en forma líquida, así como - descargándose substancias gaseosas (D), como monosilano, a través de la cabeza de la columna de destilación (3), y - transportándose la cola (E) a la columna de destilación (4), - destilándose en la columna de destilación (4) el producto trisililamina (G) a través de la cabeza y condensándose el mismo, y - esclusándose substancias de punto de ebullición más elevado a través de la cola (F).