Disposición para alinear un objeto de medición en relación con un detector, disposición interferométrica así como procedimiento de alineación

Disposición para alinear un objeto (2) de medición en relación con un detector (5), con medios (10) de iluminación que generan una trayectoria (15) de rayos de iluminación para iluminar el objeto (2) de medición y con medios (8) de regulación para ajustar la posición relativa del objeto (2) de medic...

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1. Verfasser: FLEISCHER, Matthias
Format: Patent
Sprache:spa
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Beschreibung
Zusammenfassung:Disposición para alinear un objeto (2) de medición en relación con un detector (5), con medios (10) de iluminación que generan una trayectoria (15) de rayos de iluminación para iluminar el objeto (2) de medición y con medios (8) de regulación para ajustar la posición relativa del objeto (2) de medición con respecto al detector (5), presentando los medios (10) de iluminación al menos dos medios (12, 13) de iluminación parcial que pueden activarse individualmente, caracterizada porque el detector (5) está configurado para determinar las intensidades luminosas de los rayos de luz reflejados en el objeto (2) de medición y generados por los medios (12, 13) de iluminación parcial, que inciden sobre el detector (5).