Conmutadores MEMS y el empaquetado de los mismos
Un conmutador MEMS para su uso en frecuencias de radio o de microondas, que comprende una pareja de superficies que hacen contacto (12, 19), al menos una (19) de las cuales es movible con respecto a la otra (12) para abrir o cerrar el conmutador, estando transportada una dicha superficie (19) por un...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Un conmutador MEMS para su uso en frecuencias de radio o de microondas, que comprende una pareja de superficies que hacen contacto (12, 19), al menos una (19) de las cuales es movible con respecto a la otra (12) para abrir o cerrar el conmutador, estando transportada una dicha superficie (19) por un elemento flexible (14), y medios actuadores (20, 20) configurados para efectuar dicho movimiento relativo, y en el que dicha superficie de contacto (19) está sobre una primera porción (18) del elemento flexible (14) que se une a una porción adicional (22) del elemento flexible, habiendo sido escogidas las tensiones internas en el elemento flexible (14) de modo que se controla la forma de la primera porción (18) y/o su disposición angular con respecto a la porción adicional (22), caracterizado porque la disposición es tal que cuando el conmutador se cierra el elemento flexible (14) se deforma para conformar la superficie de contacto (19) definida en el mismo a la otra superficie de contacto (12). |
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