Microsistemas electromecánicos con separaciones de aire

Microsistema electromecánico (1) que comprende: - una base (15) que comprende un sustrato (20) y un electrodo de sustrato (40) fijado al sustrato, - una viga móvil (30) suspendida por encima del sustrato (20), - un generador de tensión (10), conectado mediante un primer borne a la viga (30) y mediante un segundo borne al electrodo de sustrato (40), adaptado para generar una diferencia de potencial entre la viga (30) y el electrodo de sustrato (40), y - por lo menos un tope mecánico (70) unido a la viga y adaptado para entrar en contacto con la base (15) en el momento de la aplicación de una diferencia de potencial entre la viga (30) y el electrodo de sustrato (40) definiendo una lámina de aire (80) entre la viga (30) y el electrodo de sustrato (40), estando dicho microsistema electromecánico caracterizado por que comprende además un elemento de bloqueo de cargas eléctricas (50, 52, 100) dispuesto sobre el sustrato (20), enfrente del por lo menos un tope mecánico (70) y conectado eléctricamente a la viga (30). The present invention relates to an microelectromechanical system (1) comprising: a base (15) comprising a substrate (20) and a substrate electrode (40); a moveable beam (30); a voltage generator (10) able to generate a potential difference between the beam (30) and the substrate electrode (40); and at least one mechanical stop (70) connected to the beam and designed to make contact with the base (15) when a potential difference is applied between the beam (30) and the substrate electrode (40), thereby defining an air-filled cavity (80) between the beam (30) and the substrate electrode (40), characterized in that it furthermore comprises an electrical-charge blocking element (50) placed on the substrate (20), said element facing the at least one mechanical stop (70) and being electrically connected to the beam (30).