Control de la frecuencia de excitación de bujía de radiofrecuencia

Dispositivo de generación de plasma por radiofrecuencia compuesto por: un módulo de mando (30) que genera una señal de mando (V1) a una frecuencia de mando, un circuito de alimentación (20) que incluye un interruptor de mando (M) comandado por la señal de mando, aplicando el interruptor una señal de...

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Hauptverfasser: DELORAINE, FRANCK, MAKAROV, MAXIME, AUZAS, FREDERIC, AGNERAY, ANDRE
Format: Patent
Sprache:spa
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Beschreibung
Zusammenfassung:Dispositivo de generación de plasma por radiofrecuencia compuesto por: un módulo de mando (30) que genera una señal de mando (V1) a una frecuencia de mando, un circuito de alimentación (20) que incluye un interruptor de mando (M) comandado por la señal de mando, aplicando el interruptor una señal de excitación (V2) en una salida del circuito de alimentación a la frecuencia definida por la señal de mando un resonador (10) que presenta una frecuencia de resonancia superior a 1 MHz, conectado a la salida del circuito de alimentación y adaptado para generar una tensión (U(t)) para la producción de una chispa cuando es excitado por la señal de excitación, dicho dispositivo unos medios (40, 50) de control del módulo de mando (30), adaptados para modificar la frecuencia de la señal de excitación de manera síncrona con la señal de mando, durante la aplicación de la citada señal de excitación, adaptados los citados medios de control para comandar al menos un salto de frecuencia de la señal de mando desde un primer valor de la frecuencia (f0) a un segundo valor de la frecuencia (f1), inferior al citado primer valor, caracterizado porque los medios de control están adaptados para comandar una fase de basculamiento de duración tb de la señal de mando que precede a la aplicación del segundo valor de la frecuencia, estando la duración del basculamiento comprendida entre el 80% y el 120% de la duración de un semiperiodo de la citada señal al primer valor de la frecuencia.