DISPOSITIVO PARA RECUBRIR UN SUSTRATO

EN UN DISPOSITIVO PARA RECUBRIMIENTO DE UN SUBSTRATO (30) CON UNA FUENTE (43) DE CORRIENTE ALTERNA, QUE SE UNE CON DOS CATODOS (58,59), UNO DE LOS POLOS DE LA FUENTE (43) SE CONECTA A UN CATODO (58) Y EL OTRO POLO AL OTRO CATODO (59) A TRAVES DE CONDUCCIONES (41,42) DE ABASTECIMIENTO. CADA UNO DE AM...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	TESCHNER, GOTZ, SZCZYRBOWSKI, JOACHIM, ZMELTY, ANTON
Format:	Patent
Sprache:	spa
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	EN UN DISPOSITIVO PARA RECUBRIMIENTO DE UN SUBSTRATO (30) CON UNA FUENTE (43) DE CORRIENTE ALTERNA, QUE SE UNE CON DOS CATODOS (58,59), UNO DE LOS POLOS DE LA FUENTE (43) SE CONECTA A UN CATODO (58) Y EL OTRO POLO AL OTRO CATODO (59) A TRAVES DE CONDUCCIONES (41,42) DE ABASTECIMIENTO. CADA UNO DE AMBOS CATODOS (58,59) DISPUESTOS EN UN COMPARTIMENTO (32'',40) DE UNA MULTIPLICIDAD DE APLICACIONES VECINAS, FORMANDO CONJUNTAMENTE UNA CAMARA (31) DE VACIO, HA PREVISTO COMPARTIMENTOS (32 HASTA 40'') QUE SE UNEN UNO CON OTRO A TRAVES DE UN PASO (60), DONDE AMBOS COMPARTIMENTOS (32'',40) QUE MUESTRAN CATODOS (58,59) QUE SE UNEN CON LA FUENTE (43) DE CORRIENTE ALTERNA SE DISPONEN DE FORMA SEPARADA UNO CON OTRO A TRAVES DE MULTIPLES COMPARTIMENTOS (33 HASTA 39 Y 33'' HASTA 38''), QUE ESTAN EQUIPADOS AL MENOS PARCIALMENTE CON CADA UNO DE LOS OTROS CATODOS (61 HASTA 66) DISPONIENDO DE ABASTECIMIENTO DE CORRIENTE SEPARADA. Apparatus for film coating a substrate (2), with two cathodes (30,31) each connected to one pole of an alternating current source (15) and each in a separate compartment (4,12) forming a single vacuum chamber (3) together with a number of adjacent compartments (4 to 12') connected by a through-passage (32). The two compartments (4,12) with cathodes (30,31) connected to the current source (15) are separated by several compartments (5 to 11 and 5' to 10') at least partly equipped with an additional sputter cathode (33 to 38) each with separate current supply.