DISPOSITIVO DE TRATAMIENTO EN VACIO PARA LA APLICACION DE CAPAS DELGADAS

LA INVENCION TRATA DE UN DISPOSITIVO DE TRATAMIENTO AL VACIO PARA APLICAR CAPAS FINAS SOBRE SUSTRATOS (36 A 38), CON VARIAS CAMARAS DE TRATAMIENTO (DE 8 A 11) FIJAS EN SU SITIO, SUJETAS POR LA PARED LATERAL (3) EN FORMA DE ANILLO O BASTIDOR DE LA CAMARA DE VACIO (2), CON UNAS ABERTURAS DE LA CAMARA...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MAIDHOF, HANS, HEINRICH, JURGEN, SCHUSSLER, HANS, KUNKEL, STEFAN, BEUL, JOHANNES
Format:	Patent
Sprache:	spa
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	LA INVENCION TRATA DE UN DISPOSITIVO DE TRATAMIENTO AL VACIO PARA APLICAR CAPAS FINAS SOBRE SUSTRATOS (36 A 38), CON VARIAS CAMARAS DE TRATAMIENTO (DE 8 A 11) FIJAS EN SU SITIO, SUJETAS POR LA PARED LATERAL (3) EN FORMA DE ANILLO O BASTIDOR DE LA CAMARA DE VACIO (2), CON UNAS ABERTURAS DE LA CAMARA DE TRATAMIENTO (DE 4 A 7) QUE SE EXTIENDEN PERIFERICAMENTE HACIA ADENTRO, HACIA EL CENTRO DE LA CAMARA DE VACIO (2), EN PLANOS PARALELOS UNO CON RESPECTO AL OTRO. EN UN DISPOSITIVO DE ESTE TIPO HAY PREVISTO UN ARBOL (14) ALOJADO EN LA TAPA DE LA CAMARA DE VACIO Y/O EN LA PLACA DE BASE DE LA CAMARA DE VACIO (12) DE LA CAMARA DE VACIO (2) Y QUE SE EXTIENDE EN PARALELO A LOS PLANOS DE LAS ABERTURAS; EL ARBOL (14) MUEVE LAS PLACAS (23 A 26) PARA CERRAR LAS ABERTURAS DE LA CAMARA DE TRATAMIENTO (4 A 7) Y ESTA EQUIPADO CON UNOS OPERADORES (19 A 22) QUE SIRVEN PARA EL DESPLAZAMIENTO DE LAS PLACAS DE CIERRE (23 A 26) DE UNA POSICION INTERIOR Y RADIAL DE ABERTURA A UNA POSICION RADIAL Y EXTERIOR DE CIERRE, A CUYO EFECTO LOS OPERADORES QUE ACTUAN JUNTO CON EL ARBOL (14) ESTAN CONFORMADOS COMO PALANCAS (19 A 22).