PROCEDIMIENTO PARA LA OBTENCION DE RECUBRIMIENTOS ANTIMULTIPACTOR APLICABLES A GUIAS DE ONDA DE RADIOFRECUENCIA

Procedimiento para la obtención de recubrimientos antimultipactor aplicables a guías de onda de radiofrecuencia realizado con una fuente de cañón de electrones de 4KV DC y 100 mA, con la necesaria asistencia simultánea de iones inertes de argón de 0.25 mA/cm{sup,2} y 200 eV de energía cinética, en a...

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Hauptverfasser: RUEDA SANCHEZ FERNANDO, DIAZ RIVILLAS NURIA, GALAN ESTELLA LUIS, MONTERO HERRERO ISABEL, RABOSO VAQUERO DAVID, CASTANEDA QUINTANA SAUL
Format: Patent
Sprache:spa
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Beschreibung
Zusammenfassung:Procedimiento para la obtención de recubrimientos antimultipactor aplicables a guías de onda de radiofrecuencia realizado con una fuente de cañón de electrones de 4KV DC y 100 mA, con la necesaria asistencia simultánea de iones inertes de argón de 0.25 mA/cm{sup,2} y 200 eV de energía cinética, en atmósfera de nitrógeno a 3 x 10{sup,-4} Torr y una velocidad de depósito de 40 A/minuto, con una presión base de 4 x 10{sup,-8} Torr y una presión de depósito de 3 x 10{sup,-4} Torr a 4.5 x 10{sup,-4} Torr, encontrándose el substrato a 100ºC.