PROCEDIMIENTO PARA LA OBTENCION DE RECUBRIMIENTOS ANTIMULTIPACTOR APLICABLES A GUIAS DE ONDA DE RADIOFRECUENCIA
Procedimiento para la obtención de recubrimientos antimultipactor aplicables a guías de onda de radiofrecuencia realizado con una fuente de cañón de electrones de 4KV DC y 100 mA, con la necesaria asistencia simultánea de iones inertes de argón de 0.25 mA/cm{sup,2} y 200 eV de energía cinética, en a...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Procedimiento para la obtención de recubrimientos antimultipactor aplicables a guías de onda de radiofrecuencia realizado con una fuente de cañón de electrones de 4KV DC y 100 mA, con la necesaria asistencia simultánea de iones inertes de argón de 0.25 mA/cm{sup,2} y 200 eV de energía cinética, en atmósfera de nitrógeno a 3 x 10{sup,-4} Torr y una velocidad de depósito de 40 A/minuto, con una presión base de 4 x 10{sup,-8} Torr y una presión de depósito de 3 x 10{sup,-4} Torr a 4.5 x 10{sup,-4} Torr, encontrándose el substrato a 100ºC. |
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