SYSTEM AND ARRANGEMENT FOR MEASURING AN EXTERNAL ELECTRIC FIELD

Die vorliegende Erfindung betrifft ein System und eine Anordnung zur Messung eines externen elektrischen Feldes. Das System weist ein mikroelektromechanisches System auf oder ist als mikroelektromechanisches System (MEMS) ausgebildet. Das System weist eine Sensorelektrodenanordnung von wenigstens zw...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Santos Wilke, Hans, Raab, Oliver
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft ein System und eine Anordnung zur Messung eines externen elektrischen Feldes. Das System weist ein mikroelektromechanisches System auf oder ist als mikroelektromechanisches System (MEMS) ausgebildet. Das System weist eine Sensorelektrodenanordnung von wenigstens zwei Elektroden (13) auf einem Elektrodenträger (15) auf, welche Elektroden (13) mittels elektrischer Durchkontaktierungen (12) auf der elektrodenabgewandten Seite des Elektrodenträgers (15) kontaktierbar sind. Das System ist bevorzugt auf einem Schaltungsträger (20) angeordnet.