PUMPING UNIT

Die Erfindung betrifft eine Pumpeinheit für eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, oder für ein Vakuumsystem, mit zumindest einer Holweckpumpstufe, die eine oder mehrere während des Pumpbetriebs um eine Drehachse rotierende Holweckhülsen sowie einen oder mehrere Holweckstatoren um...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Südwasser, Sebastian, Lohse, Martin, Schweighöfer, Michael, Birkenfeld, Maximilian, Hofmann, Jan
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft eine Pumpeinheit für eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularvakuumpumpe, oder für ein Vakuumsystem, mit zumindest einer Holweckpumpstufe, die eine oder mehrere während des Pumpbetriebs um eine Drehachse rotierende Holweckhülsen sowie einen oder mehrere Holweckstatoren umfasst, die jeweils auf einer einer Holweckhülse zugewandten Seite zumindest einen Holwecksteg aufweist, wobei der Holweckstator oder - bei mehreren Holweckstatoren - der äußere, am weitesten radial außen gelegene Holweckstator in einem Einströmbereich mehrere, insbesondere zwei, drei oder vier, radiale Einströmöffnungen umfasst, die in Umfangsrichtung verteilt angeordnet und durch in axialer Richtung verlaufende Stützabschnitte voneinander getrennt sind.