IMPROVED METHOD FOR MEASURING A MISALIGNMENT USING SMALL ANGLE SCATTERING BY TRANSMISSION - T-SAXS; ASSOCIATED INSTRUMENTAL SYSTEM AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT

Ce procédé de mesure T-SAXS d'un écart d'alignement entre deux réseaux de lignes portés par deux niveaux d'un composant microélectronique (C), un repère xyz étant associé au composant, les lignes des deux réseaux étant orientées selon la direction y, les deux réseaux étant superposés...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	RECHE, Jérôme, GERGAUD, Patrice, ALRIFAI, Liliane, BLANCQUAERT, Yoann
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MATERIALS THEREFOR MEASURING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING
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