IMPROVED METHOD FOR MEASURING A MISALIGNMENT USING SMALL ANGLE SCATTERING BY TRANSMISSION - T-SAXS; ASSOCIATED INSTRUMENTAL SYSTEM AND COMPUTER PROGRAM PRODUCT

Ce procédé de mesure T-SAXS d'un écart d'alignement entre deux réseaux de lignes portés par deux niveaux d'un composant microélectronique (C), un repère xyz étant associé au composant, les lignes des deux réseaux étant orientées selon la direction y, les deux réseaux étant superposés...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	RECHE, Jérôme, GERGAUD, Patrice, ALRIFAI, Liliane, BLANCQUAERT, Yoann
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MATERIALS THEREFOR MEASURING ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS TESTING
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Ce procédé de mesure T-SAXS d'un écart d'alignement entre deux réseaux de lignes portés par deux niveaux d'un composant microélectronique (C), un repère xyz étant associé au composant, les lignes des deux réseaux étant orientées selon la direction y, les deux réseaux étant superposés selon la direction z, et l'écart d'alignement étant mesuré selon la direction x, se caractérise par les étape de : acquérir une pluralité de mesures d'intensité d'un faisceau de rayons X transmis pour une pluralité d'angles d'incidence du faisceau de rayons X ; reconstruire, à partir de la pluralité de mesures d'intensité, une figure de diffraction ; déterminer, le long d'une tige de Bragg d'intérêt de la figure de diffraction, les positions de chaque point d'une paire de points caractéristiques de la tige de Bragg d'intérêt ; et, calculer l'écart d'alignement à partir des positions déterminées.