INTEGRATED PARTICULATE MATTER SENSOR WITH CAVITY
A particulate matter (PM) sensor comprises a substrate (4) forming a cavity (5) and a light source (1) arranged in the cavity (5). The light source (1) is adapted to emit a light beam (7). Further, the particulate matter sensor comprises an optical element (2) delimiting the cavity (5) on one side....
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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