CHARGE TRANSFER DEVICE WITH CONSTRICTION AT THE GATE FOR CLOCK FREQUENCIES ABOVE 100 MHZ

Vorgeschlagen wird eine Ladungsübertragungsvorrichtung mit einem Ladungsübertragungskanal (10) in einem Halbleitersubstrat (20) mit einer dotierten Leitungsschicht (30) mit einem Taktgeber mit einer Taktfrequenz von über 100 MHz, insbesondere von über 150 MHz, über 200 MHz oder 250 MHz und insbesond...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Yu, Chongqi, De Coi, Beat
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Vorgeschlagen wird eine Ladungsübertragungsvorrichtung mit einem Ladungsübertragungskanal (10) in einem Halbleitersubstrat (20) mit einer dotierten Leitungsschicht (30) mit einem Taktgeber mit einer Taktfrequenz von über 100 MHz, insbesondere von über 150 MHz, über 200 MHz oder 250 MHz und insbesondere unter 400 MHz, wobei zur Verringerung der Verluste der Ladungsübertragungskanal im Bereich eines Gatters und insbesondere ein Gatter (50) , einen Bereich einer Verengung (52) aufweist, in welchem der Querschnitt in Flussrichtung (31) abnimmt und insbesondere kontinuierlich, insbesondere konstant abnimmt und, einen Bereich (51) mit konstantem oder verbreitertem Querschnitt aufweist, welcher in Flussrichtung vor dem Bereich der Verengung an den Bereich der Verengung angrenzt und einen Bereich (51) mit konstantem oder verbreitertem Querschnitt aufweist, welcher in Flussrichtung nach dem Bereich der Verengung an den Bereich der Verengung angrenzt. A charge transfer device having a charge transfer channel in a semiconductor substrate. A doped conduction layer is provided for movably accepting the charge carriers, and a sequence of at least two electrically isolated gates which adjacently succeed one another for transferring the charge carriers in the conduction layer in a flow direction is provided. The charge transfer channel is formed by overlap of the possible electrostatic effect of the gates with the conduction layer. A clock generator has a clock frequency of more than 100 MHz which applies changes in potential at the clock frequency to the gates, for transporting charge carriers at the clock frequency from adjacent regions of the overlap between adjacent gates and the conduction layer. The charge transfer channel in the region of one gate has a region of a constriction in which the cross-section in the flow direction decreases, and has a region with a constant or widened cross-section.