METHOD AND DEVICE FOR FORMING AN EDGE STRUCTURE OF A SEMICONDUCTOR COMPONENT

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Randstruktur eines Halbleiterbauelements, aufweisend die Schritte: Bereitstellen eines Halbleiterkörpers (1), der wenigstens zwei zueinander beabstandete Hauptflächen (3, 4) mit jeweils einem Rand (5, 6) aufweist, zwischen welchen Rändern (5...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GAMON, Tobias, SOMMER, Sebastian, BARTHELMESS, Reiner, KELLNER-WERDEHAUSEN, Uwe
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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