OPTICAL POSITIONING DEVICE

Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Bestimmung der Position eines ersten Objekts gegenüber einem relativ hierzu entlang mindestens einer Messrichtung beweglichen zweiten Objekt. Diese umfasst eine sich entlang der Messrichtung erstreckende Maßverkörperung, d...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: NUTZINGER, Tarek, BENNER, Ulrich, HAUNREITER, Johannes, KREMPKE, Daniel
Format: Patent
Sprache:eng ; fre ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die vorliegende Erfindung betrifft eine optische Positionsmesseinrichtung zur Bestimmung der Position eines ersten Objekts gegenüber einem relativ hierzu entlang mindestens einer Messrichtung beweglichen zweiten Objekt. Diese umfasst eine sich entlang der Messrichtung erstreckende Maßverkörperung, die mit dem ersten Objekt verbunden ist. Die Maßverkörperung weist eine erste Spur mit einer Inkremental-Messteilung sowie eine zweite Spur mit einer Absolut-Messteilung auf. Eine Abtasteinheit ist mit dem zweiten Objekt verbunden, die mindestens eine Lichtquelle und einen Detektor aufweist. Der Detektor umfasst einer Absolut-Detektoranordnung zur Erfassung eines von der Absolut-Messteilung in eine Detektionsebene übertragenen aperiodischen Lichtmusters und eine Inkremental-Detektoranordnung zur Erfassung eines von der Inkremental-Messteilung in die Detektionsebene übertragenen periodischen Lichtmusters umfasst. Ferner ist eine Faseroptik-Platte vorgesehen, die aus einer Vielzahl aneinandergrenzend angeordneter Lichtleitfasern besteht, deren Bildeintrittsflächen der Maßverkörperung und deren Bildaustrittsflächen dem Detektor zugewandt sind. Die Faseroptik-Platte ist als durchgängiges Bauteil vor der Absolut-Detektoranordnung und der Inkremental-Detektoranordnung angeordnet, so dass über die Faseroptik-Platte sowohl eine Übertragung von Absolutspur-Informationen als auch von Inkrementalspur-Informationen in die jeweiligen Detektionsebenen erfolgt An optical position-measuring device includes a scale and a scanning unit. The scale is connected to a first object, extends along a measurement direction and includes a first track having an incremental measuring graduation, and a second track having an absolute measuring graduation. The scanning unit is connected to a second object and includes a light source, a detector having an absolute detector arrangement configured to detect an aperiodic light pattern transmitted from the absolute measuring graduation onto a detection plane and an incremental detector arrangement configured to detect a periodic light pattern transmitted from the incremental measuring graduation onto a detection plane, and a fiber-optic plate arranged as a continuous component in front of the absolute detector arrangement and the incremental detector arrangement, wherein both absolute track information and incremental track information in the respective detection planes are transmitted via the fiber-optic plate in this manner.