MICROELECTROMECHANICAL SWITCHING ELEMENT, DEVICE AND MANUFACTURING METHOD

Es wird ein mikroelektromechanisches Schaltelement (1) angegeben, umfassend- ein Biegeelement (10) mit wenigstens einem an dem Biegeelement angeordneten ersten Schaltkontakt (11),wobei das Biegeelement (10) aus einer zentralen Stellung (p0) heraus in zwei gegenüberliegende Auslenkungsrichtungen (r1,...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Raab, Oliver, Schwarz, Markus
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SWITCHES ELECTRICITY EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES RELAYS SELECTORS
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