MICROELECTROMECHANICAL SWITCHING ELEMENT, DEVICE AND MANUFACTURING METHOD

Es wird ein mikroelektromechanisches Schaltelement (1) angegeben, umfassend- ein Biegeelement (10) mit wenigstens einem an dem Biegeelement angeordneten ersten Schaltkontakt (11),wobei das Biegeelement (10) aus einer zentralen Stellung (p0) heraus in zwei gegenüberliegende Auslenkungsrichtungen (r1,...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Raab, Oliver, Schwarz, Markus
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SWITCHES ELECTRICITY EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES RELAYS SELECTORS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Es wird ein mikroelektromechanisches Schaltelement (1) angegeben, umfassend- ein Biegeelement (10) mit wenigstens einem an dem Biegeelement angeordneten ersten Schaltkontakt (11),wobei das Biegeelement (10) aus einer zentralen Stellung (p0) heraus in zwei gegenüberliegende Auslenkungsrichtungen (r1,r2) auslenkbar ist,- sowie ein erstes Decksubstrat (100) und ein zweites Decksubstrat (200),- wobei die beiden Decksubstrate (100,200) so ausgebildet sind, dass das Biegeelement (10) in einem Hohlraum (300) zwischen den beiden Decksubstraten (100,200) angeordnet ist,- und wobei jedes der beiden Decksubstrate (100, 200) im Bereich des Biegeelements (10) eine Steuerelektrode (110, 210) aufweist, mit welcher eine Auslenkung des Biegeelements (10) beeinflusst werden kann.Weiterhin wird eine Vorrichtung mit einem solchen Schaltelement (1) sowie ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Schaltelements (1) angegeben.