METHOD FOR MANUFACTURING A RESONATOR

La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un résonateur dans un substrat, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes :a) modifier la structure d'au moins une zone du substrat afin de rendre plus sélective ladite au moins une zone ;b) graver ladite au moins...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Hessler, Thierry, Dalla Piazza, Silvio
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING ELECTRICITY ELECTROMECHANICAL CLOCKS OR WATCHES ELECTRONIC TIME-PIECES HOROLOGY MACHINE TOOLS MECHANICAL PARTS OF CLOCKS OR WATCHES IN GENERAL MECHANICALLY-DRIVEN CLOCKS OR WATCHES METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SOLDERING OR UNSOLDERING TIME PIECES USING THE POSITION OF THE SUN, MOON OR STARS TIME-INTERVAL MEASURING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	La présente invention concerne un procédé de fabrication d'un résonateur dans un substrat, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes :a) modifier la structure d'au moins une zone du substrat afin de rendre plus sélective ladite au moins une zone ;b) graver ladite au moins une zone afin de sélectivement fabriquer ledit résonateur. The method involves modifying a structure of a substrate zone using a laser so as to render the zone as more selective. The zone is etched so as to selectively fabricate a resonator (300) that includes a base (302) from which parallel arms (304) are extended, where each arm presents an upper face and a lower face. A recess (310) is formed on one of the faces of the arms. The resonator is released from a substrate, where the substrate is made of single-crystal material, polycrystalline material, polymer and of amorphous materials such as ceramics or glass. An independent claim is also included for a resonator.