POSITION MEASURING DEVICE
Eine Positionsmesseinrichtung umfasst einen Maßstab (10), eine erste Abtasteinheit (14.1), eine zweite Abtasteinheit (14.2) und einen Abtastträger (2) zum Tragen der ersten und zweiten Abtasteinheit (14.1, 14.2). Abtastorte der ersten und zweiten Abtasteinheit (14.1, 14.2) sind bei einer vorbestimmt...
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Format: | Patent |
Sprache: | eng ; fre ; ger |
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Zusammenfassung: | Eine Positionsmesseinrichtung umfasst einen Maßstab (10), eine erste Abtasteinheit (14.1), eine zweite Abtasteinheit (14.2) und einen Abtastträger (2) zum Tragen der ersten und zweiten Abtasteinheit (14.1, 14.2). Abtastorte der ersten und zweiten Abtasteinheit (14.1, 14.2) sind bei einer vorbestimmten Temperatur (T0) der Positionsmesseinrichtung in einem vorbestimmten ersten Abstand (a0) voneinander angeordnet. Die Positionsmesseinrichtung weist mindestens einen Sensor (16) zum Erfassen einer Temperatur (TA) des Abtastträgers (2) auf. Die Positionsmesseinrichtung ist dazu ausgebildet, in Abhängigkeit eines durch die erste und zweite Abtasteinheit (14.1, 14.2) ermittelten zweiten Abstands (a1) zwischen den Abtastorten der ersten und zweiten Abtasteinheit (14.1, 14.2) bei der Temperatur (TA) des Abtastträgers (2) und in Abhängigkeit der Temperatur (TA) des Abtastträgers (2) eine Dehnung (ε) des Maßstabs (10) örtlich aufgelöst zu bestimmen.
To provide a position measuring device capable of performing temperature compensation of a measurement value.SOLUTION: A position measuring device includes: a scale 10; a first scanning unit 14.1; a second scanning unit 14.2; and a scanning carrier 2 for supporting the first and second scanning units. Scanning positions of the first and second scanning units 14.1, 14.2 are disposed in a first predetermined distance mutually in the case of a predetermined temperature of the position measuring device. The position measuring device has a temperature sensor 16 for grasping temperature of the scanning carrier 2. The position measuring device is formed so as to locally decompose strain of the scale 10 and determine it according to a second distance, between scanning positions of the first and second scanning units 14.1, 14.2 at temperature of the scanning carrier 2, and calculated by the first and second scanning units 14.1, 14.2, and temperature of the scanning carrier 2.SELECTED DRAWING: Figure 1 |
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