SPECTROMETRIC GENERATOR

Die vorliegende Erfindung betrifft einen HF-Plasmagenerator (1) zur Erzeugung eines induktiv gekoppelten Plasmas (P) in der Spektrometrie, umfassend eine Spannungsversorgungseinrichtung (2) mit einer Gleichspannungsquelle, eine an die Stromversorgungseinrichtung (2) angeschlossene Oszillatorschaltun...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Claus, Frank, Bielert, Andreas
Format:	Patent
Sprache:	eng ; fre ; ger
Schlagworte:	APPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC,OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWERSUPPLY SYSTEMS BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONTROL OR REGULATION THEREOF CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUTPOWER CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY GENERATION PLASMA TECHNIQUE PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die vorliegende Erfindung betrifft einen HF-Plasmagenerator (1) zur Erzeugung eines induktiv gekoppelten Plasmas (P) in der Spektrometrie, umfassend eine Spannungsversorgungseinrichtung (2) mit einer Gleichspannungsquelle, eine an die Stromversorgungseinrichtung (2) angeschlossene Oszillatorschaltung (3) zum Erzeugen von HF-Leistung, und eine mit der Oszillatorschaltung (3) gekoppelte Lastschaltung (4) zum Erzeugen des Plasmas (P), welche Lastschaltung (4) zumindest eine Induktionsspule (LP) und eine zur Induktionsspule (LP) parallel geschaltete Kapazität (CP) aufweist. Erfindungsgemäß umfasst der HF-Plasmagenerator (1), insbesondere die Spannungsversorgungseinrichtung (2), zumindest eine steuerbare Spannungsquelle (5), welche in einem Zweig der Oszillatorschaltung (3) angeordnet ist, wobei die steuerbare Spannungsquelle (5) dazu ausgestaltet ist, eine an der Lastschaltung (4) anliegende Spannung (UL) und/oder zumindest eine Potentialdifferenz (U1, U2) zwischen der Induktionsspule (LP) und einem Spektrometer (6), insbesondere einem Konus (7) des Spektrometers (6), einzustellen. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Spektrometer mit einem erfindungsgemäßen HF-Plasmagenerator. Disclosed is an HF plasma generator for generating an inductively coupled plasma in spectrometry, comprising a voltage supply device with a DC voltage source, an oscillator circuit connected to the power supply device for generating HF power, and a load circuit coupled to the oscillator circuit for generating the plasma, said load circuit having at least one induction coil and one capacitor connected in parallel. The HF plasma generator comprises at least one controllable voltage source arranged in a branch of the oscillator circuit. The controllable voltage source is designed to set a voltage applied to the load circuit and/or at least one potential difference between the induction coil and a spectrometer, in particular a cone of the spectrometer. Further disclosed is a spectrometer having an HF plasma generator.